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| HOME > products > Dry Vacuum Pump |
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· 광범위한 산업현장에서 입증된 신뢰성
· 최적화된 스크류 로터 및 짧은 가스 배출 경로
· 수랭식 모터
수랭식 모터를 채용, 공랭식 모터의 문제점인 소음과 크기를 줄이고 먼지 비산 문제를 획기적으로 개선
· 이동 및 작업의 편리성
포터블 타입으로 이동이 편리하고 설치와 분리 작업이 쉬움
분리형 콘트롤 판넬 채택으로 조작이 편리하고, 본체의 사방에 자유롭게 부착 가능, 원거리에서도 가동상태를 눈으로 확인 가능
· 차음 판넬
소음 감소 및 시각적인 디자인의 판넬 채택으로 실내에서도 깨끗한 환경하에 사용할 수 있음
평판디스플레이와 반도체 산업에서 검증된 품질과 신뢰성
· 소형이며 경제적인 진공펌프
· 소형 Footprint와 쉬운 조작법
· 향상된 배기량
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· 소용량(50m3/hr)에서 대용량(5000m3/hr)에 이르기까지 광범위한 배기성능을 지닌 펌프의 선택 가능
50 ～ 5000 m3/hr
· 공랭식 펌프
SE50, SE80
· Simple한 구조 및 콤팩트한 펌프설계
낮은 단가
최소화된 설치
짧은 가스 배출 경로(높은 배기속도)
· 스크류형 로타 및 일단 구조
더 높은 체적 효율
더 낮은 소음과 진동
· 저렴한 운전 비용
낮은 전력 소모
낮은 냉각수 유량
· 저렴한 유지/보수 경비
다단형 드라이펌프에 비해 심플한 구조(부품수가 약 1/3)
최소한의 구동 부위로 고장률 최소화 및 고장시 수리시간 단축 및 수리 비용 최소화
· 향상된 펌프수명 및 저렴한 유지비용
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· OLED
· LiPB
· Ultrasonic Cleaning/Plasma Cleaning
· Heat Treatment Furnace
· Electric, Electronics & all Semiconductor Process
Load-lock & transfer chamber pumping
Backing a turbo pump on all processes
CVD, PVD, Etching, Ion implantation etc.
The clean & harsh chemistries used in all semiconductor applications
Vacuum Packaging Process (PDP)
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| Guide of Pump Selection |
Neovac seires |
| Application |
Air Evacuation |
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Load lock/Transfer/Buffer
Chamber evacuation
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| Sputtering Deposition |
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| Ion implantation |
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| Ashing |
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| Etching Process |
Metal |
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Oxide |
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Nitride |
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| CVD Process |
Nitride |
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Oxide |
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Nitride |
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| Epitaxial Process |
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