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 KOWEL  2013.02.13
 PVD Coating System의 AF코팅 약품에 의한 펌프고장 해결  21606

PVD(Physical Vapor Deposition)의 일종인 Sputtering 방식, Ion Plating방식, Thermal Evaporation 방식 등을 이용하여 소재표면에 내구성 및 컬러를 구현하거나 내 지문성 등의 기능성 부여하는 Coating System에 진공펌프를 납품하였습니다.



■ NEOVAC 2400  (Chember Vol: 약 3000ℓ, Oper Press: 0.001 torr, Down time: .3min) 납품
기존 Oil Rotary Vacuum Pump는 유입되는 공정가스와 오일이 반응하여 고착에 의한 고장이 빈번하였으나 Dry Screw Type 적용이후 문제가 해결 되었습니다.  


 

참조자료: AF코팅 약품영향에 대한 진공펌프 검토서
 

 AF코팅 약품 영향 검토.pdf (0.39MB)
 Laser Drilling System용 진공진공 펌프 납품
 [전략물자] 자율수출관리 규정 - 2차, 3차 개정