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| K2MDP |
흡입압력20~1X10-3Torr 까지의 영역에서 비교적 소용량의 Dry Type Vacuum Pump의 흡입측에 대용량의 Roots Mechanical Vacuum Booster를 직렬로 조합한 형식으로 Dry Type Vacuum Pump 단독운전비용보다 저렴한 운전비용으로 공정의 안정화를 기할수 있고 배기능력도600~3600m3/Hr 까지 적용범위가 다양하며 운전진공도를 일정하게 유지할 수 있다. 또한 Oil 및 Water Free Type 이므로 폐유 및 폐수 발생이 전혀 없다. 1단형 Dry Type Vacuum Pump 는 배기용량(2~13㎥/min)이 한정되어 있기 때문에 고용량을 배기할 경우에는 Roots Type Mechanical Vacuum Booster를 조합해 사용해야 한다.
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| K3MDP |
Dry Type Vacuum Pump의 흡입측에 Roots Type Mechanical Vacuum Booster를 단3단형으로 직렬 조합한 형식으로 대용량 1500~18000m3/Hr 및 고진공 20~1X10-3Torr에 적합하여 응축성 증기함량이 많은 공정에 사용되어지며 2단형과 같이 Oil 및 Water Free Type 이므로 폐유 및 폐수발생이 전혀 없고 대용량이지만 운전비용이 저렴하다.
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